专注 MEMS 器件研发 · 半导体微纳加工 · 芯片工艺开发 · 检测表征 咨询热线 15295629916 | 邮箱 sales@zjsemicon.com
MEMS · MICRO/NANO FABRICATION

全流程 MEMS 方案
解决专家 · 铸晶半导体

专注于 MEMS 器件研发、半导体微纳加工、芯片工艺开发及检测表征服务。依托先进洁净车间与精密设备,为科研院校、医疗电子、工业传感、通信射频等领域客户提供从设计、流片到封装测试的一体化定制服务。

光刻刻蚀镀膜键合电镀外延掺杂切割减薄封装
10+年团队行业经验
500+m² 洁净车间
3-5工作日快速打样
10+年 MEMS 流片代工经验
8 大核心工艺环节
20+合作高等院校
30+合作科研院所
100%全流程数据记录
PRODUCTS AND SERVICES

产品与服务

提供 MEMS 芯片 / 器件、一站式 MEMS 微纳加工服务,并提供半导体材料销售与相关技术咨询服务。

MEMS PROCESS

MEMS 微纳加工工艺

覆盖制版、光刻、镀膜、刻蚀、电镀、外延掺杂、切割减薄到封装的完整工艺链条,支持单步加工与器件全流程加工。

CHIP CUSTOMIZATION

MEMS 芯片与器件定制

从结构方案设计、版图绘制、工艺适配到流片与封装测试,按应用场景与性能指标定制开发。

01

压力传感器

硅压阻 / 电容式结构,适配工业与医疗压力检测。

02

流量 / 气流传感器

微热式与热温差式流量芯片,灵敏度可调。

03

气体传感器

微热板基底气敏芯片,低功耗、响应快。

04

硅电容

高深宽比硅槽电容结构,尺寸与容值可定制。

05

硅针 / 微针

实心 / 空心微针阵列,用于透皮给药与采样。

06

柔性电极

PI / PET 柔性基底叉指电极,Al/Au/Cu/Ni 可选。

07

微孔 / 纳米孔

硅基、氮化硅薄膜微孔阵列,孔径可控。

08

微流道 / 微流控

玻璃—硅、PDMS 键合流道,支持复杂三维流路。

09

氮化硅薄膜器件

低应力氮化硅窗格与支撑膜,厚度可定制。

10

MEMS 开关 / 射频器件

相变射频开关、可调电容等射频前端器件。

11

二维材料器件

石墨烯、TMD 等二维材料转移与器件制备。

12

光波导器件

硅基 / 玻璃基光波导与耦合结构加工。

13

微热板器件

低功耗悬空膜微热板,用于气敏与红外光源。

14

PI 柔性器件

柔性衬底图形化与多层结构加工。

15

红外靶标 / 芯片

被动式红外投影芯片与靶标器件。

16

逆向工程与拆解提图

器件拆解、版图提取与工艺分析(合规用途)。

TESTING & CHARACTERIZATION

器件结构表征与检测

标准化检测流程,全流程质量管控,确保产品一致性与可靠性,并支持失效分析与工艺优化。

微观形貌观测

SEM 扫描电镜、光学显微镜,观测线宽、侧壁形貌与结构完整性。

膜厚与台阶测试

台阶仪、椭偏仪测量膜厚、台阶高度与刻蚀深度。

成分与结构分析

EDS、XRD 等手段分析材料成分、应力与晶体结构。

失效分析与工艺优化

定位失效机理,输出工艺改进建议与验证数据。

SEMICONDUCTOR MATERIALS

半导体材料与工艺耗材

为 MEMS 研发、半导体实验室及小批量生产提供高质量、一站式的材料采购解决方案。

衬底材料

单晶硅片、SOI 片、石英 / 玻璃基片,2"–8" 多规格可选。

光刻材料

光刻胶(正胶 / 负胶)、显影液、剥离液、清洗液。

工艺耗材

掩膜版 / 光刻版、牺牲层材料、特种胶带、靶材。

定制材料

特殊尺寸、特殊晶向基片定制与来料加工。

COMPANY ADVANTAGE

核心优势

高标准、精细化、响应快——以成熟工艺与严谨品控,保障每一次交付。

01专业团队,定制开发

核心团队成员深耕 MEMS 行业十余年,多年制造经验,可按需定制开发并提供全流程技术咨询。

02响应迅速,专业对接

电话、微信、邮件随时响应,迅速处理、按时交付,严守时间节点。

03IP 保护

签订保密协议,知识产权严格保护,保障客户技术资料安全。

04一站式加工制造

研发、加工、制造一体化,经验丰富、技术成熟、工艺多样。

05快速打样

常规试样周期 3-5 个工作日,研发迭代无需久等。

06严格品控

标准化检测流程与全流程质量管控,确保产品一致性与可靠性。

WORKFLOW

服务流程

从需求到交付,流程清晰可控,每个环节均有工程师对接与数据记录。

01

需求沟通

明确结构、基材、精度与批量

02

方案设计

结构仿真、版图与工艺路线

03

制版光刻

掩膜版制作与图形转移

04

微纳加工

刻蚀、镀膜、键合等工序

05

切割封装

减薄划片与封装方案实施

06

检测交付

表征测试、报告与交付

APPLICATIONS

服务领域

为高校、科研机构与企业单位提供全流程 MEMS 解决方案。

高校与科研院所

课题样品制备、微纳加工代工、流片服务与技术咨询。

医疗电子与生物检测

微流控芯片、微针、生物电极与一次性检测器件。

工业传感

压力、气体、流量传感器芯片定制与批量制造。

通信射频

RF MEMS 开关、相变开关与可调器件工艺开发。

光电子与光学

光波导、光栅、光学窗口与二维材料器件加工。

企业研发打样

从小批量试制到中试化量产,工艺定型与良率提升。

NEWS CENTER

新闻中心

行业资讯与知识分享,记录我们对工艺的理解与实践。

知识分享 · 2026-09-23

高深宽比深硅刻蚀:MEMS 器件制造的关键工序

深硅刻蚀的侧壁形貌、刻蚀速率与选择比,直接决定 MEMS 结构的深宽比与器件性能……

知识分享 · 2026-09-17

等离子体刻蚀:微纳加工干法刻蚀的核心技术

刻蚀工艺作为图形化转移的关键环节,直接决定器件的尺寸精度、结构形貌与性能稳定性……

行业资讯 · 2026-08-05

一文了解光刻掩膜版技术

从苏打玻璃到石英基材,掩膜版的材质、尺寸与制作精度如何影响最终线宽与套刻精度……

ABOUT US

关于铸晶半导体

苏州铸晶半导体科技有限公司坐落于苏州,是一家专注于 MEMS 器件研发、半导体微纳加工与芯片工艺开发的技术创新型企业。公司依托光刻、刻蚀、镀膜、键合、切割打孔等一系列前沿工艺加工能力,构建起全方位的 MEMS 全过程解决方案体系。

我们已与众多科研院所、高等院校及创新企业达成深度合作,以丰富的实践经验和专业的技术水平,为客户提供切实可行的定制化 MEMS 加工解决方案。核心团队成员在 MEMS 行业深耕十余年,坚持技术创新与品质可靠,助力半导体产业国产化升级。

  • 成熟光刻、刻蚀、薄膜沉积、封装测试全流程工艺
  • 支持 MEMS 结构定制、柔性电子开发与特殊工艺方案设计
  • 快速打样、有序推进,严控产品品质与交付节点
  • 标准化检测流程,确保产品一致性与可靠性
客户至上把客户需求放在首位
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